Estudio de la propagación de ondas Ultrasónicas en capas de Si-poroso
Estudio preliminar en monocapas
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En este trabajo por primera vez en el IFUAP se sientan las bases experimentales de dicho estudio abordando el problema en el régimen de frecuencias de MHz. Se determinaron algunas características del SP que podían influir en la propagación de ondas acústicas: porosidad, espesor y tamaño de poro. Estos datos también permiten determinar el volumen de las monocapas y la densidad de masa que se compara con dos modelos para SP, siendo el de Hideyuki Unno consistente con este trabajo. Tambien se desarrollo una metodología muy completa para separar las monocapas de SP de su sustrato de silici...
En este trabajo por primera vez en el IFUAP se sientan las bases experimentales de dicho estudio abordando el problema en el régimen de frecuencias de MHz. Se determinaron algunas características del SP que podían influir en la propagación de ondas acústicas: porosidad, espesor y tamaño de poro. Estos datos también permiten determinar el volumen de las monocapas y la densidad de masa que se compara con dos modelos para SP, siendo el de Hideyuki Unno consistente con este trabajo. Tambien se desarrollo una metodología muy completa para separar las monocapas de SP de su sustrato de silicio para evitar su influencia como interfase. Para la propagación de ondas acústicas, se obtuvieron los espectros de transmitancia de las mismas en función de la frecuencia mediante la aplicación de la Transformada Rápida de Fourier (FFT) de los datos obtenidos experimentalmente en el régimen de tiempo.
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