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Introductory MEMS Fabrication and Applications

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

07.09.2014

Verlag

Springer Us

Seitenzahl

440

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/2,5 cm

Gewicht

692 g

Auflage

2010

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4899-8421-0

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Taschenbuch

Erscheinungsdatum

07.09.2014

Verlag

Springer Us

Seitenzahl

440

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/2,5 cm

Gewicht

692 g

Auflage

2010

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4899-8421-0

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • Fabrication.- The substrate and adding material to it.- Creating and transferring patterns—Photolithography.- Creating structures—Micromachining.- Solid mechanics.- Applications.- Thinking about modeling.- MEMS transducers—An overview of how they work.- Piezoresistive transducers.- Capacitive transducers.- Piezoelectric transducers.- Thermal transducers.- to microfluidics.- Laboratories.- Microfabrication laboratories.