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Cleanroom Technology
Fundamentals of Design, Testing and Operation
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Grundlagen, Auslegung, Einrichtung, Prüfung und Betrieb von Reinräumen: Dieses Handbuch führt vor allem Neueinsteiger in das Gebiet ein, wobei aktuelle Standards berücksichtigt werden. Bei der Zusammenstellung dieses Lehrmaterials kann der Autor auf mehr als 35 Jahre Erfahrung in der einschlägigen Forschung und Entwicklung zurückgreifen.