• Produktbild: Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
  • Produktbild: Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
Band 69 - 13%

Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials

13% sparen

185,99 € UVP 213,99 €

inkl. MwSt, Versandkostenfrei

Lieferung nach Hause

Beschreibung

Details

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

26.01.2004

Abbildungen

XI, w. mit 298 Illustrationen

Herausgeber

M.R. Oliver

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

428

Maße (L/B/H)

24,1/16/2,9 cm

Gewicht

1760 g

Auflage

2004

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-540-43181-7

Beschreibung

Details

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

26.01.2004

Abbildungen

XI, w. mit 298 Illustrationen

Herausgeber

M.R. Oliver

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

428

Maße (L/B/H)

24,1/16/2,9 cm

Gewicht

1760 g

Auflage

2004

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-540-43181-7

Herstelleradresse

Springer-Verlag KG
Sachsenplatz 4-6
1201 Wien
AT

Email: ProductSafety@springernature.com

Weitere Bände von Springer Series in Materials Science

Weitere Bände von Springer Series in Materials Science

Unsere Kundinnen und Kunden meinen

0 Bewertungen

Informationen zu Bewertungen

Zur Abgabe einer Bewertung ist eine Anmeldung im Konto notwendig. Die Authentizität der Bewertungen wird von uns nicht überprüft. Wir behalten uns vor, Bewertungstexte, die unseren Richtlinien widersprechen, entsprechend zu kürzen oder zu löschen.

Verfassen Sie die erste Bewertung zu diesem Artikel

Helfen Sie anderen Kund*innen durch Ihre Meinung

Unsere Kundinnen und Kunden meinen

0 Bewertungen filtern

  • Produktbild: Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
  • Produktbild: Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
  • 1 Introduction.- 2 CMP Technology.- 3 Metal Polishing Processes.- 4 Metal CMP Science.- 5 Equipment Used in CMP Processes.- 6 CMP Polishing Pads.- 7 Fundamentals of CMP Slurry.- 8 CMP Cleaning.- 9 Patterned Wafer Effects.- 10 Integration Issues of CMP.- Appendix: Pourbaix Diagrams.- References.