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Anlagenautomatisierung, Meßtechnik und Analysentechnik / Vakuumbeschichtung Bd.3
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Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.